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ULVAC愛發(fā)科 渦輪分子泵 VPT-060
ULVAC愛發(fā)科 渦輪分子泵 VPT-060
ULVAC愛發(fā)科 渦輪分子泵 VPT-060
渦輪分子泵是實(shí)現(xiàn)高真空環(huán)境的重要設(shè)備,廣泛用于半導(dǎo)體制造和研究設(shè)施。 該泵通過高速移動(dòng)分子來有效地產(chǎn)生真空。
渦輪分子泵由高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子和固定定子組成。 轉(zhuǎn)子的葉片與分子碰撞,使分子加速流向排氣口,從而產(chǎn)生真空。 這個(gè)過程利用分子的動(dòng)能并且非常高效。
與其他真空泵相比,渦輪分子泵具有非常高的抽速,可以快速準(zhǔn)備真空環(huán)境,并且由于不使用油,可以提供清潔的真空環(huán)境,非常適合半導(dǎo)體制造等精密工作,并且具有從低真空到高真空的廣泛適用性,并應(yīng)用于各種行業(yè)和研究領(lǐng)域。
這是一種渦輪分子泵,帶有一個(gè)使用磁浮軸承的獨(dú)立控制器。 我們擁有排氣速度為 300~4000L/s 的型號(hào)陣容。 控制器可以監(jiān)控運(yùn)行狀態(tài)并支持各種通信標(biāo)準(zhǔn)。
這是一種干式、緊湊的高真空排氣系統(tǒng),由渦輪分子泵、干式真空泵、閥門配管和電氣系統(tǒng)等必要設(shè)備緊湊地組成。
它非常適合半導(dǎo)體、分析、測試、物理和化學(xué)以及制藥等各個(gè)領(lǐng)域的清潔真空環(huán)境。
長處
它是一個(gè)完全干燥的排氣裝置。
安裝空間緊湊。
VLH?SB025JH
VLH?SB040JH
VLH?SB050JH
VLH?SB065JH
VLH?SB080JH
VLH?SB100JH
VLH?SB150JH
VLH?SB016KF
VLH?SB025KF
VLH?SB040KF
VLH?SB050KF
VLH?SB063KC
VLH?SB080KC
VLH?SB100KC
VLH?SB160KC
VLH?SB016CH
VLH?SB040CH
VLH?MB016CH
VLH?MB040CH
VLH?MB063CH
VLH?MB100CH
VLH?MB160CH
VAP-U100
VAP-U150
VAH-U100
VAH-U150
規(guī)范
|
50 赫茲 | 60 赫茲 |
---|---|---|
極限壓力 | 10-5 帕 | |
質(zhì)量 | 17 千克 | |
進(jìn)氣口和排氣口 | ISO63 (選項(xiàng): KF-40) | |
環(huán)境溫度范圍 | 8~38 °C | |
*尺寸 | 340 毫米(寬) × 340 毫米(長) × 355 毫米(高) | |
符合 RoHS 規(guī)范 |
2. 核心技術(shù)及產(chǎn)品
ULVAC的核心業(yè)務(wù)涵蓋:
真空設(shè)備:干式真空泵、分子泵、真空測量儀器等。
鍍膜技術(shù)(PVD/CVD):用于半導(dǎo)體、光學(xué)薄膜、太陽能電池等。
半導(dǎo)體制造設(shè)備:濺射設(shè)備、蝕刻設(shè)備、封裝設(shè)備等。
分析測試儀器:X射線光電子能譜儀(XPS)、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術(shù):OLED蒸鍍?cè)O(shè)備、鋰電薄膜設(shè)備等。