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日本ULVAC愛(ài)發(fā)科螺桿型干泵MS600A用于刻蝕設(shè)備去膠設(shè)備等離子清洗設(shè)備北崎熱賣(mài)
螺桿型干泵Model:MS
通過(guò)對(duì)轉(zhuǎn)子軸和氣缸等主要部件進(jìn)行特殊涂層處理,以防腐蝕。 采用ULVAC設(shè)計(jì)的轉(zhuǎn)子軸,實(shí)現(xiàn)高性能的排粉。 從大氣壓到極限壓力,可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運(yùn)行。特點(diǎn)
半導(dǎo)體和電子器件制造設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng),如刻蝕設(shè)備、去膠設(shè)備、等離子清洗設(shè)備等。 真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng),如燒結(jié)爐、滲碳爐等。 鋰電池制造設(shè)備真空排氣系統(tǒng),如電極干燥設(shè)備、脫泡設(shè)備、注液設(shè)備等。 醫(yī)療食品設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng),如冷凍干燥設(shè)備、真空干燥設(shè)備等。用途
*1:到達(dá)壓力時(shí)規(guī)格
型式 MS120A MS600A MS1200A *排氣速度 *1 m3/h 115 560 980 到達(dá)壓力 Pa ≦0.6 ≦0.1 電源電壓 200V Class:3Phase, 50/60Hz, AC200-240V±10% or 400V Class:3Phase, 50/60Hz, AC380-480V±10% 消費(fèi)電力概略值 *2 kW 2.4 3.1 3.1 冷卻水量 L/min >4.0 Purge gas量 *1 SLM 0~50 *水蒸氣處理量 *1*3 kg/h 1.5 噪音值 *1 dB(A) 61 62 64 吸氣口 KF50(Horizontal) / VG50(Vertical) ISO-F-80 ISO-F-100 排氣口 KF40 質(zhì)量 *4 kg 139 241 264 適用規(guī)格 CE、cTUVus 標(biāo)準(zhǔn)附屬品 Quick manual, Power connector, Waterproof cable clamp, Remote connector, Guard for power connector, Silencer 本體選配件 Power supply:200V Class or 400V Class
Material of seal:FKM or FFKM外部選配件 Packege Exhaust port, Earthquake-proof Bracket, LR compatible Unit(Inlet, Remote), Purge gas valve
*2:At ultimate pressure (reference only)
*3:Purge gas使用時(shí)的*水蒸氣處理量
*4:Including a silencer排氣速度曲線(xiàn)